雜散光的來源

產生雜散光的原因很多, 其最主要的原因大致有以下9 個方面:

① 灰塵沾污光學元件( 如光柵、棱鏡、透鏡、反射鏡、濾光片等)。

② 光學元件被損傷, 或光學元件產生的其他缺陷( 如光柵、透鏡、反射鏡、棱鏡材料中的氣泡等)。

③ 準直系統(tǒng)內部或有關隔板邊緣的反射。

④ 光學系統(tǒng)屏蔽不好。

⑤ 熱輻射或熒光引起的二次電子發(fā)射。

⑥ 狹縫的缺陷。

⑦ 光束孔徑不匹配。

⑧ 光學系統(tǒng)的像差。

⑨ 單色器內壁黑化處理不當。

以上9 個方面中, 光柵是雜散光的主要來源。它產生的雜散光占總雜散光的80%以上。